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你所不知道的罗斯蒙特3051压阻传感技术

作者:变送器 | 发布时间:2019-11-28 17:15 | 查看次数:227

文章摘要:罗斯蒙特3051压阻传感技术介绍
罗斯蒙特3051T直连式压力变送器提供了直连式安装的工况需求,3051CA共平面压力变送器提供了共平面式对绝压的测量需求。这两种技术的完美呈现离不开它独有的压阻传感器技术,那么到底什么是压阻传感器技术呢?

什么是压阻传感器技术?

压阻传感器技术利用的是半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。扩散电阻在直接作为测量传感元件的基片内接成电桥形式,其电阻值会受到基片的压力形变而形成正比变化。

罗斯蒙特3051T和3051CA采用的压阻传感器应用的集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将芯片的周边固定封装与外壳之内,引出电机引线。机构如下图所示:

压阻传感式传感器技术在制造工艺上也获得了多项创新。首当其冲的是薄膜技术的真空蒸镀,其次是溅射技术,在低真空室中,将待溅射物制成置于阴极,用高压使得气体电离形成等离子体,等离子中的正离子以高能量轰击靶面,使靶材的原子离开靶面,沉积到阳机工作台上的基片上形成薄膜。

再要说的就是化学气相淀积技术和体型结构腐蚀加工以及表面腐蚀加工,这几种细微加工技术极大提升了罗斯蒙特3051变送器的超高测量水准。


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